Spectroscopie de vibration infrarouge du silicium amorphe hydrogéné évaporé

Abstract

Ce travail porte sur l’étude des configurations des liaisons Si-H des couches minces du silicium amorphe hydrogéné évaporé (a-Si:H) préparées dans un bâti ultra-vide (UHV). L’hydrogène atomique est obtenu à l’aide d’un plasma dans un tube à décharge dirigé vers le porte-substrat. Les fréquences de vibrations et la nature des liaisons Si-H ont été analysées à partir des mesures de spectroscopie infrarouge à transformée de Fourier.

Mots-clés : silicium amorphe hydrogéné, absorption infrarouge, transformée de Fourier